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原子熒光光譜儀(Atomic fluorescence spectrometer)是一種通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發(fā)下產生的熒光發(fā)射強度以確定待測元素含量的儀器。
該儀器的分析方法如下：物質吸收電磁輻射后受到激發(fā)，受激原子或分子以輻射去活化，再發(fā)射波長與激發(fā)輻射波長相同或不同的輻射，當激發(fā)光源停止輻照試樣之后，再發(fā)射過程立即停止，這種再發(fā)射的光稱為熒光；若激發(fā)光源停止輻照試樣之后，再發(fā)射過程還延續(xù)一段時間，這種再發(fā)射的光稱為磷光，而熒光和磷光都是光致發(fā)光。

原子熒光光譜分析法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性范圍寬，能進行多元素同時測定。這些優(yōu)點使得它在冶金、地質、石油、農業(yè)、生物醫(yī)學、地球化學、材料科學、環(huán)境科學等各個領域內獲得了相當廣泛的應用。

原子熒光光譜法的優(yōu)點：
（1）有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當?shù)偷臋z出限，Cd可達0．001ng/cm、Zn為0.04ng/cm現(xiàn)已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發(fā)光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
（2）干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結構簡單，價格便宜。
（3）分析校準曲線線性范圍寬，可達3～5個數(shù)量級。
（4）由于原子熒光是向空間各個方向發(fā)射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現(xiàn)多元素同時測定。

目前，國產原子熒光譜儀占據國內近90% 的市場，是國產分析儀器的驕傲。在儀器研發(fā)方面，我國科學工作者取得了許多具有自主知識產權的成就，眾多儀器制造商及個人發(fā)明了多項創(chuàng)新專利和研究成果。